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激光干涉仪的最大测量长度为( )。

激光干涉仪的测量精度为()。（L：被测量长度）

激光干涉仪，不适合对()误差进行测量。

激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点，但测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。