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超高频法（UHF法）是通过检测运行设备（电缆、GIS等）内部局部放电产生的超高频信号达到发现缺陷的目的，测量频率一般为（），并可通过宽带数字存储示波器测量从相邻的耦合传感器的信号到达的时间间隔来实现对缺陷的定位。