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X-射线荧光光谱分析法中，待测元素经X-射线光源提供合适波长的X-射线照射后，发生X-射线吸收，产生光电转换效应，逐出元素内层的电子而留下空穴，此时的原子处于不稳定状态，较外层轨道上的电子发生跃迁来填充空穴，并发射出待测元素的特征X-射线荧光，其波长比初级X-射线相比短