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薄膜气缸的功能类似于弹簧复位的活塞式（ )气缸。

薄膜气缸由（）组成。

活塞在气缸做（ ）

（）只有一个方向受气压控制而另一个方向依靠复位弹簧实现复位的气缸称为单作用气缸。

薄膜气缸膜片一般用（）制成。