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EJA变送器核心部分为在一单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术,分别在( )做成两个形状大小完全一致的H形状的谐振梁。
A
边缘
B
中心
C
内侧
D
外侧
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EJA
变送器
核心
部分
为
在
一
单晶硅
芯片
上
采用
微电子
机械
加工
技术
,
分别
在
(
)
做成
两个
形状
大小
完全一致
的
H
形状
的
谐振
梁
。
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