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SLMD关闭流程中，最后关闭（）的电源接线排。

SLMD关闭流程中，应先关闭（）应用软件。

真空泵关闭时：先关闭 ( )，再关闭电源，最后关闭。( )

SLMD启动流程中，可调电源在（）打开。

停真空泵时，先关闭进口阀门再关电源、最后关闭出口阀门( )