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当变极距式电容传感器的动极板受被测物体作用引起位移x时，两极板之间的距离d减小，从而使电容量变大。

当变极距式电容传感器的两极板极间的初始距离d0增加时，可减小传感器的非线性误。

当变间隙式电容传感器两极板间的初始距离d增加时，将引起传感器的

差动式电容传感器由两个结构完全相同的电容传感器组成，动极板引起的两个电容的电容量的变化趋势相反。

电容器串联时其等效电容比每一个电容都小，这相当于极板间的距离减小，所以电容量减小。