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变间隙、变面积、变介电常数式电容传感器，都具有较好的线性度。

( )电容传感器的输入被测量与输出电容值是变介电常数型线性的关系。

变面积式电容传感器是非线性的。

若电容式传感器的测量转换电路选择运算放大器式测量电路，可使基本变间隙式电容传感器的输出特性具有线性特性。

根据C=εA/d，电容传感器可做成变面积式、变极距式和变介电常数式。