A5.0
B6.0
C7.0
D8.0
二阶段氧化炉自动喷淋联锁值为工艺温度+()℃。
二阶段氧化炉自动喷淋连锁为工艺设定温度+8℃。
二阶段氧化炉应急水开启后,氧化炉温度下降()℃后,喷淋水自动关闭。
氧化炉五区工艺气联锁报警值为工艺设定温度+5℃。
二阶段氧化炉如果()出现波动会导致工艺室温度高于或低于工艺出现报警。
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