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六氟磷酸锂装置PF5发生装置物料温度指标为（）℃。

六氟磷酸锂装置PF5发生装置内部物料温度应小于等于260℃

六氟磷酸锂装置PF5发生物料温度联锁值为（）℃。

六氟磷酸锂装置PF5发生装置废气进二级PF5吸收塔。

六氟磷酸锂装置PF5发生装置降温时，需将温度将至（）以下