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机械故障的振动信号一般用位移、( )或加速度传感器来测量。

差动变压器式传感器不仅可以直接用于位移测量，而且还可以测量与位移有关的任何机械量，如振动、加速度等。

电容式传感器可用于力、压力、压差、振动、位移、加速度、角度、角速度的测量。

电容式传感器不能用于力、压力、压差、振动、位移、加速度、液位的测量（）

角位移传感器就是用积分微型加速度传感器、积分微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计模拟信号测量模块。