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角位移传感器是由（ ）传感器、微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计角位移测量模块。

角位移传感器就是用（ ）、积分微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计角位移测量模块。

角位移传感器就是用积分微型加速度传感器、积分微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计模拟信号测量模块。

位移传感器主要用来测量(　　)。

角位移传感器就是用MEMS微型加速度传感器。