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角位移传感器就是用MEMS微型加速度传感器。

角位移传感器就是用积分微型加速度传感器、积分微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计模拟信号测量模块。

常见的振动传感器类型有压电加速度传感器、振动速度传感器、（ ）、MEMS传感器。

机器人( )传感器就是测量自身的传感器,例如自身位移、转角、速度、加速度等。

角位移传感器就是用（ ）、积分微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计角位移测量模块。