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电容式压力变送器测量膜片两侧的空腔中充满（）。

电容式压力变送器的测量膜盒中心()电极与两侧固定电极分别构成两个平板电容器。

当压力直接作用在电容式压力变送器测量膜片的表面，使膜片产生微小的形变，测量膜片上的高精度电路将这个微小的形变变换成为与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的（ ）信号。

电容式压力变送器的最小测量范围为( )Pa。

210 电容式压力变送器的测量膜盒中心（）电极与两侧固定电极分别构成两个平板电容器。