试题详情

工艺验证第二阶段（工艺性能确认）中，应至少保证：

本公司首次工艺验证方式包括前验证、同步验证，在第二阶段-工艺确认阶段优先采用（）

工艺验证的第二阶段是（）

分别简述设计确认、安装确认、运行确认、性能确认和工艺验证的预定目标。

工艺性能确认相关研究包括