试题详情

在工艺性能确认开始前，应确认___。

原则上工艺性能确认期间___进行工艺参数边界挑战

工艺性能确认相关研究包括

分别简述设计确认、安装确认、运行确认、性能确认和工艺验证的预定目标。

工艺性能确认（PPQ）的定义是什么？